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[知识问答] 如果外延速率偏低，只要增大外延气体中硅源（如SiCl4）浓度，硅的气相外延速率就会增加。

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查看19 | 回复0 | 2024-8-15 20:56:52 | 显示全部楼层 |阅读模式
如果外延速率偏低，只要增大外延气体中硅源（如SiCl4）浓度，硅的气相外延速率就会增加。
A.正确B.错误opeNke.Cn正确答案：错误
外延, 速率, 就会, 浓度, 偏低

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