硅片清洗如何 硅片的清洗方法

主题：硅片清洗如何 硅片的清洗方法
1、首先去除硅片表面的有机沾污，因为有机物会遮盖部分硅片表面，从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除；
2、然后溶解氧化膜，因为氧化层是“沾污陷阱”，也Openke.Cn 公开课学习网会引入外延缺陷；最后再去除颗粒、金属等沾污，同时使硅片表面钝化。
         
关键字：硅片,表面,标签,有机物,外延